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原因
措施
CARn吹扫阀没有正常闭合[错误代码:2048 2049 2050 2202]
原因
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AFC的吹扫流量控制阀泄漏。
措施
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请确认吹扫流路出口是否堵塞。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的半岛online(中国)分公司联系。
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