气体切换模块n辅过压[错误代码:2368 2369]

原因¶

气体切换模块承受了过大的压力。

措施¶

请确保气体切换模块的供应压力在下表所示的范围内。

如果对供应压力没有影响，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的半岛online(中国)分公司联系。