DET#n FPD冷却风扇异常[错误代码:4121 4122 4123 4124]

原因¶

FPD的冷却风扇发生异常。

措施¶

请关闭仪器的主电源，确认冷却风扇的安装。若安装无异常，表示硬件发生故障。此时请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的半岛online(中国)分公司联系。